基板清理的三种方法

　　图像转移
　　采用干膜进行图像转移的工艺流程为：贴干膜前基板清洁处理→干燥→贴干膜→定位→ 曝光→显影→修版。
　　◎贴干膜前基板表面的清洁处理与干燥
　　贴干膜前板面包括覆铜箔板基板和孔金属化后预镀铜的基板。为保证干膜与基板表面牢 固的粘附，要求基板表面无氧化层、油污、指印及其它污物，无钻孔毛刺、无粗糙镀层。为增大干 膜与基板表面的接触面积，还要求基板有微观粗糙的表面。为达到上述两项要求，贴膜前要对 基板进行认真的处理。其处理方法可以概括为机械清洗和化学清洗两类。
　　1)机械清洗
　　机械清洗即用刷板机清洗。刷板机又分为磨料刷辊式刷板机和浮石粉刷板机两种。
　　①磨料刷辊式刷板机
　　磨料刷辊式刷板机装配的刷子通常有两种类型，压缩型刷子和硬毛型刷子。压缩型刷子是 将粒度很细的碳化硅或氧化铝磨料粘结在尼龙丝上，然后将这种尼龙丝制成纤维板或软垫，经 固化后切成圆片，装在一根辊芯上制成刷辊。硬毛型刷子的刷体是用含有碳化硅磨料的直径为 0．6mm的尼龙丝编绕而成的。磨料粒度不同，用途也不同，通常粒度为180目和240目的刷子 用于钻孔后去毛刺处理，粒度为320月和500目的刷子用于贴干膜前基板的处理。  两种刷子相比较各有其优缺点。压缩型刷子因含磨料粒度很细，并且刷辊对被刷板面的压 力较大，因此刷过的铜表面均匀一致，主要用于多层板内层基板的清洗。其缺点是由于尼龙丝较细容易撕裂，使用寿命短。硬毛型刷子的显著优点是尼龙丝耐磨性好，因而使用寿命长，大约 是压缩型刷子的十倍，但是这种刷子不宜用于处理多层板内层基板，因基板薄不仅处理效果不 理想，而且还会造成基板卷曲。在使用刷辊式刷板机的过程中，为防止尼龙丝过热而熔化，应不断向板面喷淋自来水进行 冷却和润湿。
　　②浮石粉刷板机
　　多年来国内外广泛使用的是磨料刷辊式刷板机。研究表明，用这类刷板机清洁处理板面有 些缺欠，如在表面上有定向的擦伤，有耕地式的沟槽，有时孔的边缘被撕破形成椭圆孔，由于 磨刷磨损刷子高度不一致而造成处理后的板面不均匀等。 随着电子工业的发展，现代的电路设计要求越来越细的线宽和间距，仍旧使用磨料刷辊式 刷板机处理板面，产品合格率低下，因此发展了浮石粉刷板机。 浮石粉刷板机是将浮石粉悬浊液喷到板面上用尼龙刷进行擦刷，其机器主要有以下几个 工段：  a．尼龙刷与浮石粉浆液相结合进行擦刷；  b．刷洗除去板面的浮石粉；  c．高压水洗；  d．水 洗；  e．干燥。
　　浮石粉刷板机处理板面有如下优点：
　　a．磨料浮石粉粒子与尼龙刷相结合的作用与板面相切擦刷，能除去所有的污物，露出新 鲜的纯洁的铜；
　　b．能够形成完全砂粒化的、粗糙的、均匀的、多峰的表面，没有耕地式的沟槽；
　　c．由于尼龙刷的作用缓和，表面和孔之间的连接不会受到破坏；
　　d．由于相对软的尼龙刷的灵活性，可以弥补由于刷子磨损而造成的板面不均匀的问题；
　　e．由于板面均匀无沟槽，降低了曝光时光的散射，从而改进了成像的分辨率。 其不足是浮石粉对设备的机械部分易损伤。
　　2)化学清洗
　　化学清洗首先用碱溶液去除铜表面的油污、指印及其它有机污物。然后用酸性溶液去除氧 化层和原铜基材上为防止铜被氧化的保护涂层，最后再进行微蚀处理以得到与干膜具有优良 粘附性能的充分粗化的表面。
　　化学清洗的优点是去掉铜箔较少(1一1.5μm)，基材本身不受机械应力的影响，对薄板材 的处理较其它方法易于操作。 但化学处理需监测化学溶液成分的变化并进行调整，对废旧溶液需进行处理，增加了废物 处理的费用。 从事干膜生产的人曾对贴抗蚀干膜最理想的表面进行测试和研究，用上述1)一3)种方法处理板面后，贴上干膜进行印制蚀刻和图形电镀的应用   对于较大的线宽与间距，无论使用哪种清洁处理方法，合格率均趋向于 100％，但当线宽为90Mm时，用浮石粉刷板机处理，合格率下降为90％，其它方法依次下跌， 最差的下降到60％。
　　3)电解清洗
　　贴干膜前基板表面清洁处理，一般采用上述1)一2)种处理方法，机械清洗及浮石粉刷板 对去除基板表面的含铬钝化膜(铜箔表面防氧化剂)效果不错，但易划伤表面，并可能造成磨料 颗粒(如，碳化硅、氧化铝、浮石粉)嵌入基体内，同时还可能使挠性基板、多层板内层薄板及薄 型印制板基板的尺寸变形。化学清洗去油污性较好，但去除含铬钝化膜的效果差。   电解清洗的优点不仅能较好地解决机械清洗、浮石粉刷板及化学清洗对基板表面清洁处 理中存在的问题，而且使基板产生一个微观的比较均匀的粗糙表面，大大提高比表面，增强干膜与基板表面的粘合力，这对生产高密度、细导线的导电图形是十分有利的。
　　电解清洗工艺过程如下：  进料→电解清洗→水洗→微蚀刻→水洗→钝化→水洗→干燥→出料
　　① 电解清洗主要作用是去掉基板铜箔表面的氧化物、指纹、其它有机沾污和含铬钝化物。
　　② 微蚀刻主要作用是使铜箔形成一个微观的粗糙表面，以增大比表面。   ⑧钝化的作用是保护已粗化的新鲜的铜表面，防止表面氧化。电解清洗主要用于贴干膜或涂覆液体光致抗蚀剂前的挠性基板、多层板内层薄板及薄型 印制板基板的表面清洁处理，它虽然具有诸多优点，但对铜箔表面环氧腻污点清洗无效，废水处理成本也较高。 据资料报导，美国Atotech Inc．(Chemcut)已于九十年代初推出CS一2000系列的水平式 阳极电解清洗设备，同时还出售Scherclean Ecs系列电解清洗剂。
　　处理后的板面是否清洁应进行检查，简单的检验方法是水膜破裂试验法。板面滑活处理 后，流水浸湿，垂直放置，整个板面上的连续水膜应能保持15秒钟不破裂。清洁处理后，最好立即贴膜，如放置时间超过四个小时，应重新进行清洁处理。
　　美国某公司用放射性酯酸测量清洁处理前后铜箔的表面积，发现处理后比处理前大三倍，正是由于存在大量的微观粗糙表面，在贴膜加热加压的情况下，使抗蚀剂流入基板表面的微观结构中，大大提高了干膜的粘附力。  贴膜前板面的干燥很重要。残存的潮气往往是造成砂眼或膜贴不牢的原因之一，因此必须去除板面及孔内的潮气，以确保贴膜时板子是干燥的。通常先物理排水，如用空气刀干燥，然后放入110土5℃的热烘箱中进行热蒸发10—15分钟。为避免交叉污染板面，烘箱应是专用设备。