残余气体分析仪
时间:12-07-19 点击:
力思专业从事反向技术研究,在PCB抄板界享有盛名。我司采用世界上最先进的扫描设备,并且拥有专业的、有经验的抄板团队,能解决并完善当前PCB设计布线中的一些缺陷及不足现在可对各种产品进行模拟仿真,保证设计质量。
技术参数:
质量数测量范围:1-100AMU/1-200AMU
样品压力范围:10exp-4Torr至高真空
最小可检分压:5exp-12Torr;如使用电子倍增器,最小可检分压降至5exp-14Torr
分辨率:0.5AMU(10%峰高)
灯丝发射电流:0.1-10mA;除气时50mA
电子能量:30-150V,除气时200V
离子能量:1-10V
灵敏度:2exp-4A/Torr(法拉第筒);测量条件是氮气的分子离子峰,0.5AMU峰宽(10%峰高),1mA发射电流
稳定性:质量数 ±0.1AMU(30分钟预热)
峰高 ±2%(30分钟预热)
主要特点:
性能出色,价格很有竞争力,非常适用于半导体和薄膜沉积过程中的检漏和残余气体分析
软件支持多种数据显示方式
四极杆参数可自动优化
内置谱图,帮助确认组分